SHINWOO VACUUM TECHEDWARD
IF1800 건식 펌프
- 특징
- Rapid loadlock pumpdown - saves vital seconds
- High reliability on high frequency cycling application
- Interfaces availiable for all process tools
- Application Sphere
- -
- Application Process
- -
| IF1800 | 50Hz | 60Hz | |
|---|---|---|---|
| Peak speed | (m3h-1) | 1720 | 1800 |
| (<cfm) | 1010 | 1060 | |
| (l/min-1) | 28600 | 30000 | |
| Ulitimate vacuum (With shaft seals purge only) |
(mbar) | 8*10-4 | 7*10-4 |
| (torr) | 6*10-4 | 5*10-4 | |
| Typical Gas Ballast Flow | (slm) | 59 | 59 |
| Inlet connection | ISO160 | ISO160 | |
| Outlet connection | NW40 | NW40 | |
| Weight | (kg) | 550 | 550 |
| Power input at ultimate | (kW) | 6.1 | 6.1 |
IH 건식 펌프
- 특징
- 유티릴티 소비 최적화
- 예비 모터 전력은 사용량이 많은 CVD분야에서 신뢰성을 최대화
- 부식 방지 재료를 사용하여 부식성 가스를 펌핑
- 펌프 고온화 특성, 다양한 공정에 폭넓게 사용가능
- Application Sphere
- -
- Application Process
- -
| IH80 | IH600 | IH1000 | IH1800/HTX | ||
|---|---|---|---|---|---|
| 최대속도 | (m3h-1) | 103 | 600 | 1000 | 1800 |
| (cfm) | 61 | 353 | 589 | 1060 | |
| (l/min-1) | 1717 | 10000 | 16670 | 30000 | |
| 극한진공 | (mbar) | 1*10-2 | 7*10-4 | 1*10-3 | 1*10-3 |
| (Torr) | 7.5*10-3 | 5.3*10-4 | 7.5*10-4 | 7.5*10-4 | |
| (Pa) | 1 | 0.07 | 0.1 | 0.1 | |
| 일반 샤프트 실 질소 흐름 | (slm) | 4 | 4 | 4 | 4 |
| 흡입구 연결부 | ISO63 | ISO100 | ISO100 | ISO160 | |
| 배출구 연결부 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | |
| 냉각수 흐름(15psi 압력 강하) | (l/min-1) | 2 | 4 | 4 | 4 |
| 무게 | (kg) | 240 | 415 | 430 | 502 |
| 극한에서의 전원 압력 | (kW) | 2.7 | 3.4 | 3.8 | 4.1 |
| 정격 모터 전력 | (kW) | 3.5 | 6.1 | 6.1 | 7.0 |
| 오일 용량 | (l) | 0.7 | 1.43 | 1.48 | 1.6 |
iXL 건식 펌프
- 특징
- 웨이퍼 처리 및 기타 세척 작업을 위한 소형 저전력 펌프
- 동급 최고의 챔버 펌프 다운 시간으로 전체 평균 주기 시간(TACT) 축소
- 550W에 불과한 전력 소비량으로 고객 소유 비용 최소화
- 그린 모드를 사용하면 유휴 기간 동안 전력 소비량 최대 92% 감소
- 최대 35도의 용수 공급장치로 시설의 냉각수 요구 사항 감소
- 제로 질소 퍼지 옵션으로 질소 공급장치가 필요 없으므로 설치 및 운영 비용 절감
- Application Sphere
- -
- Application Process
- -
| iXL120 | ||
|---|---|---|
| 최대 속도 | (m3h-1) | 110 |
| 최대 속도 | (cfm) | 65 |
| (l/min-1) | 1833 | |
| 극한 압력(일반) | (mbar) | 0.013 |
| (Torr) | 0.009 | |
| (Pa) | 1.3 | |
| 극한에서의 전력 | (kW) | 0.55 |
| 그린 모드에서의 전력 | (kW) | 0.045 |
| 흡입구 연결부 수직 | ISO63 | |
| 흡입구 연결부 수평 | NW50 | |
| 배출구 연결부 | NW25 | |
| 용수 흐름 | (l/min-1) | 1 |
| 무게 | (kg) | 59 |
| iXL250Q | iXL500Q/R | iXL750Q | ||
|---|---|---|---|---|
| Dry Pump Size | (m3h-1) | 250 | 500 | 750 |
| Booster Size | (m3h-1) | 1800 | 1800*3000 | 1800 |
| Ulitimate Vacuum | (mbar) | 5*10-3 | 5*10-3 | 5*10-3 |
| System power at Ulitimate | (kW) | 5.3 | 7 | 9.8 |
| Inlet connection | ISO160 | ISO160 | ISO160 | |
| Outlet connection | NW40 | NW50 | NW50 | |
| Water flow | (l/min) | 7 | 11 | 9 |
| Purge | (slm) | 0 | 4 | 0 |
| Mass | (kg) | 515 | 740/874 | 918 |
중형 및 대형 EM 오일 펌프
- 특징
- 가스 부하가 높은 상태에서도 효과적으로 윤활유 공급
- 펌프 스위치가 꺼진 상태에서 오일과 공기의 역류 방지
- 우수한 안정성, 고장 없고 긴 수명
- 높은 수증기 하중 처리
- Application Sphere
- -
- Application Process
- 진공 야금 공정
- 박막 코팅 기술
- 제약 동결 건조
- 냉장고 및 에어컨 배수, 건조 및 충전
- 압력 변환기 및 케이블 건조/함침, 절연 오일 처리 장치
- 램프 제조
- 극저온 용기 배출
- 화학 산업의 진공 건조 및 증류
- 반도체 장치 제조
- 고진공 분야에 사용되는 보조 펌프
| E2M40 | E2M80 | E2M175 | E2M275 | ||
|---|---|---|---|---|---|
| 속도(Pneurop) 50Hz | (m3h-1) | 37 | 74 | 160 | 255 |
| (ft3min-1) | 21.8 | 43.6 | 94 | 150 | |
| 속도(Pneurop) 60Hz | (m3h-1) | 44 | 90 | 196 | 306 |
| (ft3min-1) | 25.9 | 53 | 115 | 180 | |
| 절대진공(전체압력) 가스밸러스트 없음 |
(mbar) | 1*10-3 | 1*10-3 | 1*10-3 | 1.0*10-3 |
| (Torr) | 7.7*10-4 | 7.7*10-4 | 7.7*10-4 | 7.7*10-4 | |
| 절대진공(전체압력) 가스밸러스트 있음 |
(mbar) | 7*10-3 | 7*10-3 | 7*10-3 | 5.0*10-3 |
| (Torr) | 5.4*10-3 | 5.4*10-3 | 5.4*10-3 | 3.8*10-3 | |
| 극한(Fomblin® 사용) 가스밸러스트 없음 |
(mbar) | 1*10-2 | 1*10-2 | 1*10-2 | - |
| 흡입구 연결부 | ISO40 | ISO40 | ISO63 마감 플랜지(밀봉) | ISO63 마감 플랜지(밀봉) | |
| 배출구 연결부 | NW25용 25mm 플랜지 | NW25용 25mm 플랜지 | ISO40 플랜지 센터(태핑됨) | ISO40 플랜지 센터(태핑됨) | |
| 최대 배출 압력 | 0.5바 게이지 | 0.5바 게이지 | 0.5바 게이지 | 0.5바 게이지 | |
| 수증기 최대 흡입 압력 | (mbar) | 7 | 5 | 20 | 12 |
| (Torr) | 5.3 | 3.8 | 15 | 9 | |
| 최대 수증기 펌핑속도 | (kgh-1) | 0.2 | 0.3 | 0.3 | 2.3 |
| (lbh-1) | 0.4 | 0.7 | 0.7 | 5.1 | |
| 무게 | (kg) | 82 | 125 | 230 | 253 |
| (lb) | 179 | 275 | 508 | 558 | |
| 모터전력 50Hz | (kW) | 1.1 | 2.2 | 5.5 | 7.5 |
| (hp) | 1.5 | 3 | 7.5 | 10 | |
| 모터전력 60Hz | (kW) | 1.5 | 3 | 6.5 | 8.5 |
| (hp) | 2 | 4 | 8.5 | 11 | |
| 표준 오일 용량 최대값/최소값 |
(리터) | 4.0/2.2 | 6.3/4 | 25/16 | 28/8 |
| PFPE 오일 용량 최대값/최소값 |
(리터) | 4.0/2.2 | 4.0/2.2 | 18/6.5 | - |
| 권장 오일 | Ultragrade 70 | Ultragrade 70 | Ultragrade 70 | Ultragrade 70 | |
| 소음 수준 | (dB(A)) | 65 | 70 | 75 | 75 |
| 수냉 방식 요구사항 | (lmin-1) | - | - | 1.3 | 2 |