SHINWOO VACUUM TECHKASHIYAMA
SDL Series
Wafer, FPD 기판의 대형화에 따른 대용량 펌프입니다.
대형화된 Load lock chamber에서 고속 배기하여 Tact Time을 단축합니다.
- 특징
- 고속 배기를 위한 대기측의 배기 속도를 확보했습니다.
- Booster Pump와 결합하여 한층 더 큰 배기량화가 가능합니다.(150,000L/min~ 에도 대응 가능)
- 생성물이 다량으로 발생하는 공정에는 사용할 수 없습니다.
(용제 배기 사양은 별도 문의하여 주십시오)
- Application Sphere
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- Application Process
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| SD501L | SDL12E50 | SDL20E50 | SDL40E60 | SDL40E201 | SDL80201 | ||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 최대배기속도 | (L/min) | 8,000 | 25,000 | 40,000 | 60,000 | 80,000 | 150,000 |
| 도달압력 | (Pa)※1 | 10.0 | 0.8 | 5.0 | |||
| 입력전압 | 3Φ AC200~220V, AC380~440V 50/60Hz | 3Φ AC380~440V 50/60Hz | |||||
- ※ 1 : N2 퍼지 없을 시의 값
- ※ 제품의 사양은 변경될 수 있습니다.
MU-X Series
세계에서 가장 작은 크기, 세계 최소의 전력을 동시에 실현했습니다.
모든 제조 장치에 내장이 가능합니다.
- 특징
- 초소형 공간 설계로, 배기 능력을 확보, Downsizing을 실현했습니다.
- 반도체 제조 장치의 Load Lock Chamber 등의 Clean 배기 및 Light Duty Process에 적합한 펌프입니다.
- MU-X 시리즈는 저전력을 최대화한 모델입니다.
- Application Sphere
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- Application Process
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| MU100(X) | MU300(X) | MU600(X) | MU1200(X) | ||
|---|---|---|---|---|---|
| 최대배기속도 | (L/min) | 1,660 | 5,000 | 10,000 | 20,000 |
| 도달압력 | (Pa)※1 | 1.1 | 0.5 | 0.5 | 0.5 |
| 입력전압 | 3Φ AC200~220V 50/60Hz | ||||
| 운전시 동력 | (kW)※2 | 0.7(0.35) | 0.9(0.55<)/td> | 0.95(0.60) | 1.05(0.7) |
| 무게 | (kg) | 60 | 100 | 120 | 165 |
- ※ 1 : N2 퍼지 없을 시의 값
- ※ 2 : 도달시 전력 요약 값
- ※ 제품의 사양은 변경될 수 있습니다.
SDE-K Series
각 Process에 대한 높은 내구성을 실현한 Dry Vacuum Pump입니다.
Wafer, FPD 기판의 대형화에 대응하는 대배기량 펌프입니다.
- 특징
- 독자적인 Screw 압축 기술을 통해 Harsh 과정에서의 안정적 가동을 실현했습니다.
- Booster Pump와 결합하여 한층 더 큰 배기량화가 가느합니다.(120,000L/min~ 대응가능)
- Application Sphere
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- Application Process
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| SDE40K | SDE50K | SDE60K | SDE70K | SDE120K | ||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 최대배기속도 | (L/min) | 40,000 | 50,000 | 60,000 | 70,000 | 120,000 |
| 도달압력 | (Pa)※1 | 0.8 | ||||
| 입력전압 | 3Φ AC200~220V, AC380~440V 50/60Hz | |||||
- ※ 1 : N2 퍼지 없을 시의 값
- ※ 제품의 사양은 변경될 수 있습니다.
SDE-TX Series
각 Process에 대한 높은 내구성을 실현했습니다.
Dry Vacuum Pump 내 Process성에 특화 하면서 소비전력 2.8Kw를 실현했습니다.
- 특징
- Kashiyama의 Vertical Screw Structure 우위성으로 어떠한 조건에서도 안정된 가동을 실현했습니다.
- Ni합금소재를 사용하여 내부식성이 우수합니다.
- Simple Structure 설계로 생성물 발생시 배출이 용이합니다.
- Application Sphere
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- Application Process
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| SDE120TX | SDE603TX | SDE1203TX | SDE20M12TX | ||
|---|---|---|---|---|---|
| 최대배기속도 | (L/min) | 1,500 | 10,000 | 20,000 | 35,000 |
| 도달압력 | (Pa)※1 | 1.3 | 0.5 | ||
| 입력전압 | 3Φ AC200~220V, AC380~440V 50/60Hz | ||||
| 운전시 동력 | (kW)※2 | 2.8 | 3.1 | 3.2 | 3.8 |
- ※ 1 : N2 퍼지 없을 시의 값
- ※ 2 : 도달시 전력 요약 값
- ※ 제품의 사양은 변경될 수 있습니다.
KMB-E Series
Dry Pump와 조합하여 배기능력을 향상시킵니다.
회전수 제어에 의해 대기압에서 운전이 가능합니다.
- 특징
- 고효율 설계에 의해 기존 Model에 비해, 큰 폭으로 소형화를 실현하였습니다.
- 기밀 Motor를 채용해 Clean 배기의 실뢰성을 향상하였습니다.
- 회전 제어에 의해 대기압 상태에서도 연속 운전을 가능하게 하며, 기존과 같은 진공 Switch에 의한 Inter-Lock, 대기압에서의 시간 제어 등이 불필요하여 사용법이 간단합니다.
- 동기 Motor를 적용하여 전원 주파수에 관계없이 동일한 배기 성능을 유지합니다.
- Application Sphere
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- Application Process
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| KMB4003(E) | KMB603(E) | KMB1203(E) | KMB2002(E) | ||
|---|---|---|---|---|---|
| 최대배기속도 | (L/min) | 60,000 | 10,000 | 20,000 | 30,000 |
| 도달압력 | (Pa)※1 | 0.5 | |||
| 입력전압 | 3Φ AC200~220V 50/60Hz | ||||
| 운전시 동력 | (kW)※2 | 7.5 | 2.2(3.7) | 3.7(6) | 7.5(10) |
| 무게 | (kg) | 300 | 85 | 110 | 230 |
- ※ 1 : N2 퍼지 없을 시의 값
- ※ 제품의 사양은 변경될 수 있습니다.